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工作方式 真空辉光等离子 用途 表面清洗、刻蚀、活化、改性
功率 600（W） 品牌 戈德尔 Guarder
工作频率 13.56MHZ（Hz）
技术参数
>>设备外形尺寸:(不包括报警灯)650(W)×900(D)×1650(H)mm
>>真空仓体尺寸:(约100升) 420(W)×420(D)×570(H)mm
>>仓体结构:(不锈钢材质) 9层铝合金放电电极,阳极氧化处理
>>等离子发生器: 美国COMDEL射频电源,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配，全电路保护，可连续长时间工作。
>>控制系统:PLC触摸屏全自动控制，采用欧姆龙、施耐德等品牌电器元件,有手动、自动两种控制模式，12”真彩 触摸屏，西门子可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。
>>真空系统:日本爱发科旋片真空泵 601 17L/S 台湾新莱气动角阀、充气阀、德国英福康高精度真空计、传感器
>>充气系统: 美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀 美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀 日本SMC及CKD高真空气阀组件
